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如何加工石墨配件?

发布日期:2021-09-13 作者: 点击:

随着社会经济的发展,许多单晶硅生产商都擅长石墨热场的应用,原因有二:正面和石墨毡隔热效果好,厚度达100mm,有效保证了径向梯度温度可能较小的条件,其次,长时间加热的原因是石墨坩埚的厚度可以达到250mm,并且可以制作粘结样品,因此上、中、下保温筒的直径将足够大,以具有足够的纵向散热功能。众所周知,石墨坩埚使用方法中存在的问题将导致石墨坩埚使用时间的缩短,进而增加制造商的成本。我们有制造石墨坩埚和热场工件的经验。让我们谈谈石墨热场生产中常见的问题以及我们应该如何处理这些问题。

热场的部件,如加热器、三瓣罐、石墨支架和热屏,均由石墨加工而成。在生产过程中,经常会遇到加热设备损坏的现象。石墨设备损坏的原因是什么?应采用什么方法延长石墨设备的使用寿命?石墨设备损坏的主要原因有两个:人为损坏和变质。在人的方面,只要我们加强管理,增强员工的防范意识,就能将损失降到最低。这里的主要话题是恶化。首先,让我们了解一下石墨的相关特性,

石墨坩埚

1.耐高温。石墨的熔点较高,在真空下为3850℃,在低压下为2200℃。与普通材料不同,石墨不会随着温度的升高而软化,但其强度会增加。在2500℃时,石墨的抗拉强度加倍。

2.特殊的抗热震性。石墨的热膨胀是各向异性的,因此微膨胀系数很小。在温度突变的情况下,石墨的体积变化也很小。此外,其优良的导热性能,使石墨的抗热震性极佳。如上两点所述,石墨零件应能在高温下长期稳定工作。

在正常情况下,与其他石墨设备(如隔热罩和加热器)相比,花瓣罐是相同的材料、相同的制造商和相同的工作环境。为什么使用寿命远低于隔热罩和加热器?三瓣坩埚开裂的主要原因是石英坩埚。1.由于熔融硅的密度大于固态硅的密度,因此在冷却过程中,坩埚的底部材料将打破石英坩埚,石英坩埚连接到三瓣坩埚上。当石英坩埚开裂产生的应力大于三瓣坩埚承受的应力时,三瓣坩埚会开裂,这就是为什么底部材料过多会损坏三片坩埚的原因。2.加热时间过长、石英坩埚质量差、原料pH值达不到要求等都会导致漏硅、渗硅。熔融硅进入三瓣坩埚间隙冷却后,一个是支撑三瓣坩埚,另一个是使三瓣坩埚粘结在一起,使三瓣坩埚在清炉时分别形成裂纹。3.在加热过程中,只有三瓣坩埚的热源来自两个方面:一个是加热器的辐射,另一个是石英坩埚的传导,这导致三瓣坩埚在加热过程中加热不均匀,在某些方向膨胀,在其他方向收缩,然后导致三瓣坩埚开裂。


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关键词:石墨板,石墨坩埚,石墨棒

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