在单晶硅生产中,经常会发现石墨零件的使用寿命比预期的要短得多。由于更换了太多的石墨装置,增加了石墨煅烧的频率和电耗,不仅增加了企业的生产成本,也制约了产能的有效利用。
出现这种情况有几个原因
1.选材不对
由于石墨制品在热场中的作用不同,所用材料也会有所不同。通常,电极、连杆、加热器、加热器螺杆、石墨坩埚、导管、导管支撑环、绝缘管等应采用等静压生产的结构优良、强度高的石墨材料加工,以满足生产的实际需要。
其它器件,如底盘、反射镜、防漏板、上盖板等,可采用挤压或中粗结构石墨制造。前提是在生产中,能保证满足生产要求。
2.设计不合理
在石墨零件的使用中,一些看似由石墨问题引起的事故,实际上是由设计缺陷引起的。
因此,在设计石墨零件时,除了要考虑材料本身的牌号和规格外,还必须充分考虑石墨零件在使用中的强度,并确定其几何尺寸。
3.使用不当
在石墨零件的许多使用问题中,石墨坩埚的断裂占很大比例,使用不当是不可忽视的主要原因。
在正常情况下,一个18“或20”的石墨坩埚可用于大约45炉。然而,虽然有许多石墨坩埚在设计、选材、加工、煅烧等方面没有出现问题,但其使用寿命仍然很短,有的石墨坩埚在破碎后从横截面上看还远未达到自然损耗程度。