应用场景：单晶硅片沉积镀膜

优点

1.采用当下最有优势的高精密加工设备，配备专业工艺人员，保障使用中硅片表面不产生“彩片”。

2.采用提纯等静压石墨材料制作，杂质含量低，强度高。

3.陶瓷组装件采用99.9陶瓷，防腐蚀性能强，不易爆裂。

4.执行严格的全工序品质控制，保证每个配件的精度。

5.能完全匹配主流设备厂商的沉积炉型。